เครื่องมือวัดความชื้นมักจะพึ่งพาการวัดปริมาณของส่วนอื่น ๆ เช่นอุณหภูมิ ความดัน มวลสาร หรือ การเปลี่ยนแปลงทางกลหรือไฟฟ้าในสาร ที่ความชื้นถูกดูดซึม โดยการสอบเทียบและการคำนวณปริมาณวัดเหล่านี้สามารถนำไปสู่การวัดความชื้น
อุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ที่ทันสมัยใช้อุณหภูมิของการควบแน่น (จุดน้ำค้าง) หรือการเปลี่ยนแปลงในความจุไฟฟ้าหรือความต้านทานในการวัดความแตกต่างที่มีความชื้น
ไฮโกรมิเตอร์อันแรกถูกคิดค้นโดย โยฮันน์ เฮ็นริช แลมเบิร์ท ในปี 1755
